近日，中国光学工程学会发布2022年首届“金燧奖”中国光电仪器品牌榜获奖名单，本所光栅技术中心开发的“一维光栅线位移传感器”荣获银奖。

　　“金燧奖”中国光电仪器品牌榜旨在面向国家重大战略需求，以促动关键核心技术攻关，突破“卡脖子”技术发挥关键作用为出发点，重点评选出我国自主研发、制造、生产的高端光电仪器，为助力我国自主研发的科学仪器抢占科技战略制高点、树立民族品牌自信、展现自主核心竞争力、开拓国内外应用市场创造新的机遇。 

　　光栅位移测量以光栅栅距为基准，不易受环境扰动影响，具有更高的抗干扰能力和测量重复性精度，成为高端光刻机、高档数控机床等高精度测量需求领域活力发展的方向。团队自主研发了小型化、高刻线密度一维光栅线位移传感器，首创基于锥面衍射和光栅偏振调制的光栅位移测量方法，解决了衍射干涉光栅测量中反、衍射光信号混叠引入相位误差和波片参数引入多阶非线性误差的问题。一维光栅线位移传感器攻克锥面衍射共点测量、各向异性衍射偏振调制、双向多普勒干涉测量等多项核心关键技术，打破国外相关技术封锁，实现555nm栅距下350mm位移测量。 

　　图1光栅线位移传感器测量原理图 

　　“中国制造2025”发展战略对高端装备制造业的质量提出了更高要求，超精密测量对提升高端装备制造质量具有基础支撑作用，并在制造全过程中的质量控制发挥决定性作用。“一维光栅线位移传感器”打破该领域的对外依赖，有效提升了我国关键核心部件研发水平，推动了高精度位移测量核心部件国产替代，全面支撑我国高端装备制造能力跨越式发展！ 

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　　2022年首届“金燧奖”中国光电仪器品牌榜获奖名单公示